日本SMC真空单元SMC真空组件系列 特点 ZX ·100g以下的电子零部件及小型精密零部件·对应有真空发生器系统及真空泵系统·模块化设计·可以集装 列 日本SMC真空单元SMC真空组件特点 ZR ·采用模块化设计,故必要功能·组合是可能的·可以集装·可选择数字式真空开关、电磁阀等的功能·对应有真空发生器系统及真空泵系统·采用双电控,故具有自己保持机能
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第18年